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無塵車間等級劃分

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人氣:-發表時間:2015-04-07 16:24【

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新接觸無塵車間的朋友可能對應無塵車間的等級不清楚,這里美克威爾就為新接觸無塵車間的朋友介紹下無塵車間等級的劃分,希望對各位朋友有所幫助!

無塵車間即凈化車間,凈化車間,亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。

無塵車間立體圖

所謂的無塵車間是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。建設無塵車間 美克威爾在線客服

美克威爾無塵車間

無塵車間等級劃分:

依據美國政府頒布的標準,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級:

1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。

10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。

100級:很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。

1000級:這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。

10000級:萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。了解更多無塵車間等級情況 美克威爾在線客服

等 級
每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數
每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數
100
《35*100(〈3.5〉

1000
《35*1000(〈35〉
《250(〈0.25〉
10000
《35*10000(〈350〉
《2500(〈2.5〉
100000
《35*100000(〈3500〉
《25000(〈25〉

解釋:目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多,級數越低潔凈度就越高,質量越好。如果無塵車間的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級東莞無塵車間最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵車間等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵車間之潔凈度必須優于1000級。

無塵車間的使用要求:

無塵車間使用要求

保持無塵車間的潔凈度,進出的人員有一定的穿著規定;10000與100000級,必須穿著長袍無塵衣、無塵鞋、帶帽子與面罩;1000級(含)以上,需穿著特殊的潔凈連身衣、無塵鞋將全身裹住,并帶上手套和面罩。


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