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無塵車間標準

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人氣:-發表時間:2015-04-10 11:13【

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無塵車間標準:

依據美國政府頒布的標準,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級:

1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。

10級:這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。

100級:很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環境要求,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植如體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。

1000級:這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。

10000級:萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級無塵車間。了解更多無塵車間等級情況 美克威爾在線客服

等 級每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數
100《35*100(〈3.5〉
1000《35*1000(〈35〉《250(〈0.25〉
10000《35*10000(〈350〉《2500(〈2.5〉
100000《35*100000(〈3500〉《25000(〈25〉

解釋:目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多,級數越低潔凈度就越高,質量越好。如果無塵車間的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5µm,例如,1級、10級、100級東莞無塵車間最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5µm,無塵車間等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75顆/立方英?),1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵車間之潔凈度必須優于1000級。


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